第二十一章 一步之遥（1/2）

第二十一章一步之遥

透过机器自带的显微观察镜，张亿诚看到，博士通过机器上的自动化装置把已经完成曝光的晶圆转移到下一个盛有液体的器皿中，稍微进行浸润，不可思议的现象发生了：光刻胶上可溶解区域被化学显影剂溶解，只留下刚才未曝光的图形留在了晶圆表面。“这就是显影”博士的提醒声传来，然后博士换了一个更高分辨率的显微镜口“这个时候你还需要对显影后检查来确定光刻胶图形的质量。找出光刻胶有质量问题的晶圆片，如果发现有质量问题的要立即纠正，否则晶圆一旦被错误刻蚀，就会成为废品，白白浪费原料，而跳出来的有光刻胶质量问题的晶圆可以通过别的方法去除表面的光刻胶在从新加工。”

等到博士确认机器内曝光定影后的晶圆没有质量问题后，又放入下一个烘箱中“这个步骤的烘培叫做坚膜烘培，我们需要挥发掉定影时存留的光刻胶容积，这样可以提高光刻胶对晶圆表面的粘附xìng，通过我们稳固光刻胶，为下面的刻蚀和离子注入过程打下基础。”

“那么博士这样的烘培需要什么样的条件？”这个时候一贯打酱油的老富兰克林凑了一句。

教授以一种看傻子的眼光瞥了老富兰克林一眼并没有回答老富兰克林的问题，答案很简单此时博士正在调烘培温度和时间的按钮。

“由于我们采购的是已经经过外延生产、氧化、淀积后的半成品，所以我们就可以直接进行刻蚀了，我们需要在制作各个功能块的器件结构时，将多余的材料如在氧化化时产生的SIO2、淀积中产生的金属、绝缘体、半导体等刻蚀掉。”

这个时候已经经过曝光、显影、定影合格后的硅晶圆转移到另外一台超大型橱柜式标有湿法刻蚀的机器中，中间是一扇推拉式的小门，打开门，张亿诚感觉有点像前世中的柜式电冰箱，略显厚重的门上布满了各种标识的元器件，柜子里是一个个固定底部自动流转的环形水槽，两两相对的水槽中间是各个挑杆，挑杆是通过齿轮完全的连在一起，这样当电机转动时，挑杆会起起伏伏的向前走动，这样挂在挑杆上的晶圆会因为挑杆的上下起伏和向前的走动，带动放在挑杆机器臂上的晶圆而深入不同的腐蚀液中，水槽中又有一些张亿诚也不知道的微型机器在工作，随着各个水槽长度的不同，晶圆会在不同的水槽中接受时间不等的处理。